前级泵和预抽泵的关系
2016-12-26 17:07

对于前级泵预抽泵的关系不明确的人来说,可能会认为它们是同一种产品,因为它们都有着为主泵做好准备工作的作用。但是它们是不同的两种泵,并不能混为一谈。

前级泵


前级泵的作用是在主泵出口处造成的压强低于主泵的比较大排气压强,并保证始终及时地排出主泵所排出的气体流量。因为预抽泵也有为主泵工作,抽到预备真空的作用,所以当预抽泵抽速不大于前级泵抽速时,可以用前级泵兼做预抽泵,但是反之则不行。因为预抽泵在为钛泵和低温泵之类的主泵达到预备真空时,就可以停掉。

当仅使用前级泵的时候,即前级泵兼作预抽真空泵,则还要满足预抽时间和预抽真空度的要求。如果是两者共同作用,除了要满足上述前级泵的要求外,预抽泵的抽速要让整个系统能将真空室在(一般为10~15min)时间内抽到所要求的预真空度,即整体速率减去前级泵的速率。

要分清前级泵和预抽泵的关系,不能将两者混为一谈,应该使用哪种设备就用哪种!